该设备为我司研发用于薄膜材料连续生长专用设备或薄膜材料连续热处理使用，该设备配备真空系统，气体流量控制系统，可实现多种实验调整，同时具有一定的产能要求。真空腔室内采用动密封，确保系统在真空或气氛保护条件下工作，适用于连续生长等工艺要求。

技术参数：

◆工业计算机控制系统，对炉温、进退料、气体流量等动作进行自动控制  
◆关键部件均采用优质配件，确保设备的高可靠性 
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管），流量控制采用优质流量计（MFC）控制 
◆工作压力闭环自动控制，提高工艺稳定性和可靠性 
◆控温精度高，温区控温稳定性好 
◆具有断电报警、超温报警等多种安全保护功能 
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命

一、温度控制系统  

**温度：1200℃

使用温度：≤1100℃

炉膛有效尺寸：Φ100mm

炉膛材料： 氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型： K型热热偶（五个点) 。

控温精度：±1℃， 30段可编程控温，PID温度控制程序，五段控温（300+300+300+300+300mm），五段温度可设置相同，获得超长加热温区，也可以根据需要设定不同温度段，以满足不同的工艺要求。

加热元件：优质电阻丝

供电电源： 单相，220V，50HZ

二、气路控制系统

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

气体种类:1路.

标准量程（N₂)： N2: 200、（具体量程需*终确认）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

**压力：3MPa

接口：Φ6,

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止阀：Φ6

三、真空系统

技术参数：

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10%  50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：10m³ /h

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB